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河南成仪实验室设备 实验室专用 1100度RTP快速热退火炉 真空管式炉
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?快速热退火(RTA);离子注入后退火?石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长?快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN);?硅化(Silicidation);?扩散(Diffusion);?离子注入后退火(ImplantAnnealing);
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